12—13女人做a片,和50岁熟妇做了四次,亚洲精品久久久口爆吞精,被夫の上司に犯中文字幕

網(wǎng)站首頁技術(shù)中心 > SiC晶片中的位錯如何做無損無接觸檢測
產(chǎn)品中心

Product center

SiC晶片中的位錯如何做無損無接觸檢測

發(fā)布時間:2024-10-22 點(diǎn)擊量:459

SiC晶片中的位錯如何做無損無接觸檢測

SiC作為代表性的第三代半導(dǎo)體材料,具有優(yōu)異的物理化學(xué)性能。隨著材料及應(yīng)用的發(fā)展,SiC襯底在航天電源、電動汽車、智能電網(wǎng)、軌道交通、工業(yè)電機(jī)等領(lǐng)域的應(yīng)用日益重要。相比第一代半導(dǎo)體材料如Si和第二代半導(dǎo)體材料如GaAs而言,SiC襯底質(zhì)量還有很大的改善空間,是現(xiàn)階段研發(fā)和產(chǎn)業(yè)的熱點(diǎn)。其中SiC單晶缺陷,特別是一維位錯缺陷的檢測和降低,是近10年內(nèi)重要的研究內(nèi)容


位錯及位錯的形成原因


位錯是晶體內(nèi)部的微觀缺陷,是原子局部的不規(guī)則排列造成的,發(fā)生在晶體已滑移部分和未滑移部分的 分界線處[35-37] 。在 SiC 單晶中,常見的位錯有 TEDs、TSDs、BPDs [38] 。圖 1 是 SiC 中 TSD 的示意圖[39] ,TSDs 的位錯線沿 < 0001 > 方向,它的 Burgers 矢量為 1c,如表 3 所示, 4H-SiC(0001)中螺旋臺階高度是四個 Si-C 雙層,對應(yīng)于 1c [39] 。TSDs 通常沿著 < 0001 > 方向傳播,但也會 向基面彎曲(有時又向 < 0001 > 方向彎曲) [40] ,由于 Burgers 矢量(1c 或 2c)必須守恒,當(dāng)它們彎曲并位于基 面時,就形成了 Frank 型堆垛層錯。大多數(shù) TSDs 具有 1c + a 的 Burgers 矢量,說明大多數(shù)的 TSDs 是混合位 錯。有多種因素會造成 TSDs,如多型夾雜物、碳夾雜物和 Si 滴夾雜物[41-42] ,籽晶和生長的晶體之間的氮濃度差引起的晶格失配[43] ,籽晶中的 TSDs [44] ,熱彈性應(yīng)變松弛[45]等。


CS-1 晶片內(nèi)位錯檢測儀

image.png

"Crystalline Tester CS1"是非破壞性、非接觸式檢測可見光(波長400~800nm)透明性晶體材料中由于殘留的缺陷、應(yīng)力引起的晶格畸變后分布情況的便捷式檢測設(shè)備。通過本設(shè)備可以實(shí)現(xiàn)快速、準(zhǔn)確地把握目檢下無法看到的晶體晶格畸變的狀態(tài)。


產(chǎn)品特征

產(chǎn)品特長

  1. 高速測量(6" 襯底 90秒)
    ?可以最快速度簡捷方式觀察殘留應(yīng)力分布。

  2. 縱向結(jié)晶評價
    ?因?yàn)槭峭敢曅徒Y(jié)晶評價裝置,所以不只可以觀察襯底表面,還可以觀察包括Z軸方向的晶圓所有部位。

  3. 可取得與X-Ray Topography imaging comparison同等測試效果
    ?可以取得同等測試效果,實(shí)現(xiàn)高速低成本。

  4. 價格競爭力
    ?在晶片測量裝置中,屬于性價比好的一款系統(tǒng)。

可測量材料

  1. SiC單晶襯底、及SiC外延襯底

  2. GaN單晶襯底、及GaN外延襯底

  3. AlN單晶襯底、及AlN外延襯底

  4. 可視光可透視、有雙折射效果的結(jié)晶均可。

測試效果不佳材料

?無可視光透視性材料:Si、GaAs等
?無雙折射效果材料:藍(lán)寶石、Ga2O3 等

CS1畫像と目視畫像との比較



欧美激情AAAAAAAA片| 久久人人爽人人爽人人片av不| 丰满老女人a片| 男女后进式猛烈xx00动态图片| 亚洲午夜无码av毛片久久| 亚洲av无码一区二区三区在线观看| 人妻熟妇乱又伦精品视频app| 中文字幕av日韩精品一区二区| 公交车上内裤滑进去了会怎么样| 国产精品毛片一区二区| 欧美精品无码一区二区三区| 好爽…又高潮了免费毛片| 天天爽夜夜爽夜夜爽精品视频| 亚洲 日本 欧美 中文幕| 特大巨黑吊XXXX高潮| 欧美熟妇另类久久久久久不卡| 特级bbbbbbbbb视频| 亚洲熟女www一区二区三区| 亚洲色欲色欲www在线丝| 久久精品无码av| 交换玩弄两个美妇教师| 粗大的内捧猛烈进出沈块池汐| 性无码一区二区三区在线观看| 国产精久久一区二区三区| 含羞草国产亚洲精品岁国产精品| 太脱裤子让老头玩xxxxx| 免费久久人人爽人人爽av| 国产手机精品一区二区| 滋润岳的性饥渴| 国产精品99久久久久久猫咪| 99精品人妻少妇一区二区| 亚洲日本va午夜在线电影| 午夜精品久久久久久毛片| 在电影院里拨开内裤挺进| 特级做a爱片久久久久久| 亚洲区小说区图片区qvod| 97精品超碰一区二区三区| 无遮挡1000部拍拍拍免费| 99久久人妻精品免费二区| 国产精品v欧美精品v日韩精品| 国产96在线 | 亚洲|